3次元可視化−タイトル
概要

 材料特性は組織や構造と密接に結びついていることはいうまでもなく、したがって、その組織・構造解析は材料の研究開発に不可欠である。現在、組織や構造の本質をより正確にかつ直接的に知るために、とりわけ3次元可視化技術が重要視されている。176委員会の3次元可視化グループでは、このような要求に応えるべく3次元可視化に関する技術的情報や研究会・シンポジウムなどの集会情報を提供するとともに、委員会メンバーからの要望や問合せに応えて行くことにする。


おもな3次元可視化技術

・X線トモグラフィー

特徴:100nm〜のメゾレベル組織の3次元像その場観察
装置:管球,加速器,放射光利用
試料:基本的にバルク ※分解能依存
条件:10%以上のX線透過
一例:Al-Ag過時効析出物/Al-Si合金の粒子と結晶粒界

Al-Ag過時効析出物 Al-Si合金の粒子と結晶粒界
Al-Ag過時効析出物 Al-Si合金の粒子と結晶粒界

・電子線トモグラフィー

特徴:微細組織(異相粒子など)の3次元像観察
装置:透過電子顕微鏡(TEM)
試料:TEM用薄膜試料
条件:薄膜試料の作製、試料傾斜
一例:Al-Ag析出粒子分散合金

Al-Ag過時効析出物
Al-Ag析出粒子分散合金(約4MB)

・集束イオンビーム

特徴:任意の組織断面を切出し後、各種検出器と組合せて断面CT像から立体像構築
装置:FIB+SEM,EBSP他
試料:バルク試料
条件:ミクロンオーダー組織
一例:

・アトムプローブ

特徴:原子レベルの三次元マッピング
装置:三次元AP装置
試料:針状試料
条件:目的部位の針状試料化
一例:

技術情報

<電子線トモグラフィー>

伊野家浩司、金子賢治、堀田善治、軽金属、56 (11), (2006), 639-643.
「電子線トモグラフィー法によるアルミニウム合金中の微細析出物の形態観察」

<X線トモグラフィー>

戸田裕之、上杉健太朗、竹内晃久、南恵介、小林正和、小林俊郎、Appl. Phys. Let.、89 (14), (2006), 143112.
「フレネル帯板を用いたマイクロトモグラフィーによるアルミニウム合金中のナノレベル時効析出物の3-D観察」

集会情報

第23回分析電子顕微鏡討論会 平成19年8月28日(火),29日(水)、開催場所:幕張メッセ
トピックス「3D可視化について」(176委員会と共同セッション) 座長:杉山(新日鉄)

  • 3D解析の原理・技法・応用 − 金子(九大)
  • 半導体の3D解析(EDS) − 矢口(日立)
  • 高分子の3D解析 − 陣内(京都工芸繊維大)
  • 放射光を用いた3D解析 − 戸田(豊橋技科大)

要望・問合せ・連絡先

戸田 裕之

豊橋技術科学大学 生産システム工学系 教授
〒441-8580愛知県豊橋市天伯町雲雀ヶ丘1-1
TEL:0532-44-6697、FAX:0532-44-6690
e-mail:toda@pse.tut.ac.jp

杉山 昌章

新日本製鐵(株)先端技術研究所 解析科学研究部
〒293-8511 千葉県富津市新富20-1
TEL:0439-80-2238、FAX:0439-80-2746
e-mail:msugiyam@re.nsc.co.jp

堀田 善治

九州大学工学研究院 材料工学部門 教授
〒819-0395 福岡市西区元岡744番地
TEL:092-802-2958、FAX:092-802-2992
e-mail:horita@zaiko.kyushu-u.ac.jp


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